LPCVD
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16/人使用者
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160/次机时次数
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1265/小时总时长
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0/次送样次数
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163/人收藏者
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收费标准
机时350元/小时 -
设备型号
L4111Ⅱ-4/ZM -
当前状态
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管理员
张锐 15889778568 -
放置地点
校本部检测中心二层200
- 仪器信息
- 预约资源
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- 公告
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名称
LPCVD
资产编号
16029248S
型号
L4111Ⅱ-4/ZM
规格
1
产地
中国
厂家
北京北方华创微电子装备有限公司
所属品牌
北方华创
出产日期
购买日期
2016-09-01
所属单位
微纳平台
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
张锐
联系电话
15889778568
联系邮箱
zhangr@sustech.edu.cn
放置地点
校本部检测中心二层200
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
设备配置3根独立1.5米长度、200mm直径卧式独立炉管，可在高温条件下沉积高质量薄膜，广泛应用于芯片制造行业。
设备专管专用，3根炉管分别沉积如下专门的膜层：
1、 TEOS：使用TEOS（正硅酸乙脂）高温分解沉积；
2、 SiN：使用SiH2Cl2和NH3高温反应沉积；
3、 Poly： 使用SiH4高温分解沉积。
设备专管专用，3根炉管分别沉积如下专门的膜层：
1、 TEOS：使用TEOS（正硅酸乙脂）高温分解沉积；
2、 SiN：使用SiH2Cl2和NH3高温反应沉积；
3、 Poly： 使用SiH4高温分解沉积。
主要功能及特色
可广泛应用于电子元器件制程、第三代半导体器件研发制造、光波导等领域中进行高质量薄膜沉积工艺。
样本检测注意事项
样品需经过充分的烘烤去除水分，只接受已经进行充分烘烤的石英材质夹具。
含金属的样品不得进入炉管进行工艺。
目前只能提供4英寸和6英寸标准的石英舟。
含金属的样品不得进入炉管进行工艺。
目前只能提供4英寸和6英寸标准的石英舟。
设备使用相关说明
使用者须保证使用的设备不会直接或者间接的用于以下行为：
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
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