感应耦合干法刻蚀机/ICP-RIE（ICP）
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14/人使用者
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365/次总次数
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934/小时总时长
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84/人收藏者
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收费标准
机时380元/小时 -
设备型号
Corial 210IL -
当前状态
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管理员
张锐,杜方洲 88015494 -
放置地点
校本部检测中心二层200
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
感应耦合干法刻蚀机/ICP-RIE（ICP）
资产编号
S1924985
型号
Corial 210IL
规格
200 mm ICP SYSTEM
产地
厂家
CORIAL
所属品牌
CORIAL
出产日期
购买日期
所属单位
微纳平台
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
张锐 杜方洲
联系电话
88015494
联系邮箱
zhangr@sustech.edu.cn
放置地点
校本部检测中心二层200
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
可实现最大六寸样片干法刻蚀
主要功能及特色
等离子体干法刻蚀、原子层刻蚀
样本检测注意事项
可刻蚀硅基、氮化镓基、蓝宝石基GaN类半导体固态样品
设备使用相关说明
本机仅进提供BCl3、Cl2、SF6、CHF3、O2、Ar、N2、He气体，请使用者参考气体限制
使用者须保证使用的设备不会直接或者间接的用于以下行为：
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
使用者须保证使用的设备不会直接或者间接的用于以下行为：
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
备注
非符合工艺、样品基本限制要求请向管理员申请使用
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