椭偏仪设备
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224/人使用者
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5462/次机时次数
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2993.68/小时总时长
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5/次送样次数
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618/人收藏者
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收费标准
机时400元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
TF-UVISEL -
当前状态
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管理员
校外联络张老师,马续航 0755-88015474 -
放置地点
校本部检测中心二层200
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
椭偏仪设备
资产编号
14000458
型号
TF-UVISEL
规格
1
产地
日本
厂家
Horibar
所属品牌
Horibar
出产日期
购买日期
2013-09-05
所属单位
微纳平台
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
马续航
联系电话
0755-88015474
联系邮箱
maxh@sustech.edu.cn
放置地点
校本部检测中心二层200
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1)Scanning Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer: 245-2100 nm
2)iHR320 monochromator with twin detectors for FUV -Visible -NIR range
3)Microspot : 50um X 150um
4)75W Xeon light source
5)反射式光学系统（聚焦样品）,三种微光斑可选
2)iHR320 monochromator with twin detectors for FUV -Visible -NIR range
3)Microspot : 50um X 150um
4)75W Xeon light source
5)反射式光学系统（聚焦样品）,三种微光斑可选
主要功能及特色
可测量半透明薄膜材料的厚度、折射率及消光系数等光学参数。
样本检测注意事项
液体及粉末样品不可测量。其他样品测量前请与设备管理员沟通。
设备使用相关说明
使用者须保证使用的设备不会直接或者间接的用于以下行为：
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
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