超高真空激光分子束外延机
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
TSST -
当前状态
待修 -
管理员
陈善全 13728911736 -
放置地点
校本部理学院楼
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
超高真空激光分子束外延机
资产编号
14008912
型号
TSST
规格
laser MBE
产地
荷兰
厂家
TSST
所属品牌
TSST
出产日期
购买日期
2013-12-13
所属单位
物理系
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
陈朗
联系电话
13728911736
联系邮箱
chensq6@sustech.edu.cn
放置地点
校本部理学院楼
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1) 真空系统： 机械泵+分子泵以保证理论最低真空度在~10-9mbar。
2) 分子泵正常工作状态：< 1 A 1 kHz。
3) 靶基距：55 mm。
4) 靶托：共有五个靶位，可同时生长五种不同材料。
5) 加热器：由铂铑合金制作，通过高温银浆或者特殊夹具粘合基板并借由铂铑合金热电偶加热。
2) 分子泵正常工作状态：< 1 A 1 kHz。
3) 靶基距：55 mm。
4) 靶托：共有五个靶位，可同时生长五种不同材料。
5) 加热器：由铂铑合金制作，通过高温银浆或者特殊夹具粘合基板并借由铂铑合金热电偶加热。
主要功能及特色
脉冲激光沉积由Twente Solid State Technology TSST B.V.公司研发，利用KrF准分子激光激发靶材，可在高真空条件下（~10-9mbar）于宽温区内（< 900 ºC）生长纳米结构。 同时，根据需求，可以提供生长气体， 如O2环境。适于精确控制组分，可用于薄膜制备，纳米结构生长，以及超晶格结构的制备等复杂微纳结构。
样本检测注意事项
不接受样本检测。
设备使用相关说明
该设备目前处于故障待修状态，暂停使用。
预约资源
附件下载
公告
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