原子层沉积仪（PEALD）
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172/次机时次数
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642.02/小时总时长
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0/次送样次数
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107/人收藏者
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收费标准
机时380元/小时 -
设备型号
ALD-SC6-PE -
当前状态
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管理员
马续航,王子扬 88015474 -
放置地点
校本部检测中心二层200
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
原子层沉积仪（PEALD）
资产编号
S2021210
型号
ALD-SC6-PE
规格
最大支持晶圆尺寸6英寸，向下兼容各类不同尺寸晶圆及不规则小片
产地
中国台湾
厂家
矽碁科技股份有限公司
所属品牌
矽碁科技
出产日期
购买日期
2020-11-10
所属单位
微纳平台
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
马续航
联系电话
88015474
联系邮箱
maxh@sustech.edu.cn
放置地点
校本部检测中心二层200
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
工艺要求：
1.只能进行氮化物的生长
2.除氮化铝、氮化硅外的氮化物生长需自备源
3.除氮化铝、氮化硅外生长的工艺菜单需要自行进行调试，且不得影响氮化铝、氮化硅等原有菜单
1.只能进行氮化物的生长
2.除氮化铝、氮化硅外的氮化物生长需自备源
3.除氮化铝、氮化硅外生长的工艺菜单需要自行进行调试，且不得影响氮化铝、氮化硅等原有菜单
主要功能及特色
工艺要求：
1.只能进行氮化物的生长
2.除氮化铝、氮化硅外的氮化物生长需自备源
3.除氮化铝、氮化硅外生长的工艺菜单需要自行进行调试，且不得影响氮化铝、氮化硅等原有菜单
1.只能进行氮化物的生长
2.除氮化铝、氮化硅外的氮化物生长需自备源
3.除氮化铝、氮化硅外生长的工艺菜单需要自行进行调试，且不得影响氮化铝、氮化硅等原有菜单
样本检测注意事项
1.样品尺寸不超过6英寸，厚度不超过1500μm
2.样品不能带有任何液体
3.样品不能带有任何有机物，包括高温胶带
4.样品不能带有低熔点金属
2.样品不能带有任何液体
3.样品不能带有任何有机物，包括高温胶带
4.样品不能带有低熔点金属
设备使用相关说明
使用者须保证使用的设备不会直接或者间接的用于以下行为：
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理；
2、生产重水；
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
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