旋转涂胶机 (8寸片)

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收费标准

机时
580元/小时

设备型号

RCD8

当前状态

管理员

王尧 0755-88015482

放置地点

校本部检测中心二层200
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名称

旋转涂胶机 (8寸片)

资产编号

15005371

型号

RCD8

规格

6/8寸基片

产地

德国

厂家

SUSS

所属品牌

SUSS

出产日期

购买日期

2014-01-14

所属单位

微纳平台

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

王尧

联系电话

0755-88015482

联系邮箱

放置地点

校本部检测中心二层200
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
  • 样本检测注意事项
  • 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
卡盘旋转最大速度5,000rpm,工艺最小可控时间0.1秒,匀胶均匀性±2%。衬底卡盘用6/8寸基片。
主要功能及特色
用于6-8英寸衬底片的正胶旋涂。
样本检测注意事项
1
设备使用相关说明
使用者须保证使用的设备不会直接或者间接的用于以下行为:
一、核爆炸性活动。
二、未受核保障监督的核活动。
三、与设备相关的安全和非安全防护的核活动
1、辐射特殊核或原料的化学处理;
2、生产重水;
3、分离同位素放射源和特定核材料;
4、制造含钚核反应堆燃料。
四、火箭系统 (包括弹道导弹、运载火箭、探空火箭) 和无人驾驶飞行器 (包括巡航导弹、目标无人机、无人侦察机) 的最终用途。
五、在世界范围内或由任何国家或目的地设计、开发、生产、储存或使用化学或生物武器。
六、海上核动力推进。
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