超高真空互联管道系统
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
非标定制 -
当前状态
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管理员
韩松柏,王晓飞,胡登砚,胡登砚 13821266513 -
放置地点
校本部创园9栋二层201
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
超高真空互联管道系统
资产编号
S2111473
型号
非标定制
规格
非标定制
产地
中国
厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
所属品牌
沈科仪
出产日期
购买日期
2021-09-23
所属单位
前沿与交叉科学研究院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
王晓飞
联系电话
13821266513
联系邮箱
wangxf6@sustech.edu.cn
放置地点
校本部创园9栋二层201
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
一;传输室1）极限真空：≤1.9×10-10 Torr;工作真空度：≤6×10-10 Torr;2）真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S;3）小车运行速度0～3 m/min 可调;小车定位准确;重复性好;运行平稳;4）单元长度：3 米;5）传输2 英寸样品;二;进样室1）进样室极限真空：≤3.8×10-8 Torr;真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S。2）短时间暴露大气并充干燥氮气抽至：≤5×10-7 Torr;小于30 分钟。3）进样室采用手动开门关门;可以放进3 个以上2 英寸及以下尺寸的样品。4）加热装置的最高温度：≥300 ℃;温度均匀性为：±2 ℃。三;过渡室1）极限真空：≤1.9×10-10 Torr;工作真空度：≤6×10-10 Torr 。2）真空检漏漏率：≤5×10-11 Torr.L/S。3）小车运行速度0~3 m/min 可调;小车定位准确;重复性好;运行平稳。4）进样室与过渡室交换样品后;过渡室的真空度在10 分钟内恢复到≤7.5×10-10Torr。5）过渡室与传输室交换样品后;传输室的真空度在2 分钟内恢复到≤3.8×10-10 Torr。四;转接室1）极限真空：≤1.9×10-10 Torr ;2）真空捡漏漏率：6×10-11Torr.L/S。3） 手动传递杆行程分别是700;500;400 毫米;4） 各个标准法兰与以往的转接室法兰外观一致;5） 真空室内外进行超高真空清洗;真空除气及电解抛光钝化处理;6） 各个控制电源工作可靠;7） 样品交接过程顺畅;阀门开启灵活自由。五;控制系统软硬件1）系统控制部分包括小车行走部分;真空获得;机械手等控制;可以满足小车在管道内的各种运行情况;如转弯;超车;会车。2）控制系统组成包括：小车的运行;真空获得;及交接部件的动作控制以及相关的管道工艺控制（比如样品烘烤;清洗）等。3）能够实现小车在主管道与支线管道的交界处的中转过渡室实现转弯;超车;会车等功能。整体上是由系统总控制中心完成调度与控制。4）小车定位精度：小车定位精度是依靠传感器及计算机控制;以保证其定位准确;且每个管道都有控制零点;防止累积误差;保证重复定位精度。5）小车的运行特性可控制;运行的加速曲线和减速曲线可控。小车的运行采用伺服电机控制;磁力耦合驱动;可以充分保证运行特性的平稳性;可以实现缓起缓停;恒速等控制。6）控制部分使用国际著名品牌欧姆龙PLC;提供PLC 原代码;所有采用的电子元器件均满足应用需求;布线符合国家标准;采用模块化布局。
主要功能及特色
极限真空：≤1.9×10-10 Torr;工作真空度：≤6×10-10 Torr传输2 英寸样品;包含进样室2 套;传输室2套;过渡室2 套;转接室2套及软件控制通过密闭或真空样品盒将样品转移到真空互联系统测试;以阐明材料及电池机理。
样本检测注意事项
直径2英寸;厚度1毫米以下的圆片
设备使用相关说明
1、此预约价为优惠价，使用者需致谢本真空互联实验室，详情请联系实验室人员。
2、预约时请严格按照校内外人员选择设备部件，如果错选将取消预约。
3、此管道连接了磁控溅射镀膜系统、电子束蒸发系统、激光脉冲沉积系统（PLD），可到相应的设备链接进行预约。
2、预约时请严格按照校内外人员选择设备部件，如果错选将取消预约。
3、此管道连接了磁控溅射镀膜系统、电子束蒸发系统、激光脉冲沉积系统（PLD），可到相应的设备链接进行预约。
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