原位扫描X射线光电子能谱微探针仪

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收费标准

机时
400元/小时
送样
详见检测项目

设备型号

PHI 5000 VersaProbe III

当前状态

管理员

汤敏

放置地点

校本部慧园6栋一层110
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名称

原位扫描X射线光电子能谱微探针仪

资产编号

S2101213

型号

PHI 5000 VersaProbe III

规格

产地

日本

厂家

ULVAC PHI

所属品牌

ULVAC PHI

出产日期

购买日期

所属单位

化学系

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

汤敏

联系电话

联系邮箱

tangm@sustech.edu.cn

放置地点

校本部慧园6栋一层110
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
  • 样本检测注意事项
  • 备注
主要规格&技术指标
※ 请加“QQ群138628402”,群内发送通知和分享相关资料。
※ 本仪器对全校和校外开放,可培训自测和送样,详细规则和收费标准请进群查看群公告和咨询。

1,XPS,X射线 Al Kα射线源,束斑直径10μm至200μm连续可调,最大测试面积可到100 μm × 1400 μm,XPS极限能量分辨率小于0.50 eV。
2,UPS紫外光源:He I 灵敏度 Ag 4d @ 1.7 Mcps,能量分辨率小于110 meV。
3,氩离子枪刻蚀,4 kV 2×2 mm刻蚀速率10.44 nm/min,适合无机物。
4,双束(离子束和电子束)中和系统。
5,气体团簇离子束刻蚀GCIB,适合有机物。
主要功能及特色
XPS(X射线光电子能谱),UPS(紫外光电子能谱),AES(俄歇电子能谱),SEM(扫描电子显微镜,分辨率100 nm),LEIPS(低能逆光发射光谱),REELS(反射式电子能量损失谱),刻蚀,深度剖析,角分辨深度分析,原位高低温测试(-130-500℃),真空转移。
样本检测注意事项
1,放射性样品;磁性样品;毒性样品;与水氧空气发生反应的样品;超高真空和X光照射下发生分解的样品;挥发性样品及在真空释放大量气体的样品。
2,XPS和AES样品:粉末,薄膜,块体皆可。
3,UPS,LEIPS和REELS:导体或导电性较好的薄膜材料,电阻小于100 Ω。
备注
※ 请加“QQ群138628402”,群内发送通知和分享相关资料。
※ 本仪器对全校和校外开放,可培训自测和送样,详细规则和收费标准请进群查看群公告和咨询。
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