超高真空分子束外延系统
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17215.94/小时总时长
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Lab 10 -
当前状态
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管理员
孙煜杰,程子原,张占占 18611286918 -
放置地点
校本部理学院楼
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
超高真空分子束外延系统
资产编号
S2308089
型号
Lab 10
规格
无
产地
德国
厂家
Scienta Omicron GmbH
所属品牌
Scienta Omicron
出产日期
2023-03-28
购买日期
2023-04-04
所属单位
物理系
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
孙煜杰
联系电话
18611286918
联系邮箱
sunyj@sustech.edu.cn
放置地点
校本部理学院楼
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1. 超高真空沉积腔采用非磁性不锈钢制造，外经为10”OD (254mm)
2.超高真空沉积腔配置蒸发源簇法兰，用于安装蒸发源，簇法兰中央另有DN40CF法兰口，可用于安装第八个蒸发源或红外测温仪
3.超高真空沉积腔配置抽速为250 1/s的涡轮分子泵及前级泵、抽速为240 1/s的离子泵、钛升华泵。充分烘烤后，真空优于1*10-10 mbar
4. 进样腔配置抽速为67 1/s的分子泵，配置宽量程规
5.：采用快开门设计，一次可进五个旗型样品托
6.：进样腔配置石英灯泡，用于样品的初步加热和除气，可将样品加热至约200摄氏度及以上。
7. 进样腔配置高温加热器，可采用电阻式加热，将样品加热至1400摄氏度
8. 进样腔配置溅射离子源，粒子能量范围0.12···5keV
2.超高真空沉积腔配置蒸发源簇法兰，用于安装蒸发源，簇法兰中央另有DN40CF法兰口，可用于安装第八个蒸发源或红外测温仪
3.超高真空沉积腔配置抽速为250 1/s的涡轮分子泵及前级泵、抽速为240 1/s的离子泵、钛升华泵。充分烘烤后，真空优于1*10-10 mbar
4. 进样腔配置抽速为67 1/s的分子泵，配置宽量程规
5.：采用快开门设计，一次可进五个旗型样品托
6.：进样腔配置石英灯泡，用于样品的初步加热和除气，可将样品加热至约200摄氏度及以上。
7. 进样腔配置高温加热器，可采用电阻式加热，将样品加热至1400摄氏度
8. 进样腔配置溅射离子源，粒子能量范围0.12···5keV
主要功能及特色
设备由超高真空沉积腔和进样腔组成，为和其他超高真空设备连接做好准备，即准备好必要的法兰接口及样品传递配件
样本检测注意事项
无
设备使用相关说明
无
预约资源
附件下载
公告
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