1;主体框架1.1 高刚度台式结构;具有优异的稳定性和较大操作空间1.2 加载方式：提供闭环伺服控制精确加载;可编程控制加载力;设备最大承载200N1.3 Z向控制系统;最大行程：50mm;速度：0.002-5mm/s1.4 X-Y双方向运动样品台;双向马达控制系统。X-Y方向移动范围125mm×210mm;"X"方向：最大行程：125mm;速度0.001-6mm/s;"Y"方向：最大行程：210mm;速度0.001-25mm/s;可软件自动控制2;传感器2.1 二维力传感器：加载力及切向力量程0.5-200N;分辨率：6mN2.2 电容位移传感器：量程500μm ;深度分辨率1.5nm2.3 声发射传感器：响应频率：0.2到 5.5 MHz3;测试模块：3.1划痕正向力最大载荷：200N3.2最大划痕深度：500μm3.3最大划痕长度：125mm3.4最大划痕速度：360mm/min4;测试压头4.1类型：Rockwell4.2钝角：120°4.3曲率半径：200μm4.4数量：1只5;集成三维光学系统5.1 集成三维光学系统具有50mm行程的Z2轴驱动和控制器;Z2轴驱动和控制器均安装在划痕仪主机上5.2 白光干涉和共聚焦双光学测量技术;高度无缝封装设计;只需软件内一键切换白光干涉和共聚焦两种技术。Z向分辨率0.1nm5.3 最高500万像素成像元件;最大165FPS扫描帧率;获取表面数据丰富;捕获样品表面丰富细节5.4 配置专业表面形貌数据分析软件：2D形貌;3D形貌;提取区域;提取剖面;;表面纹理与形状参数如各种标准的面粗糙度;线粗糙度;距离&角度测量;台阶高度;方向&斜率;图形&纹理单元的检测分析;颗粒&凸起&凹洞&空隙等特征统计数据;分形分析;孔/磨痕的体积;波谷深度;纹理方向;体积参数;自动生成分析报告等。可创建分析模板;只需导入数据文件;就可自动按模板出分析数据5.5 具有自动拼接功能;自动根据物镜视场范围和扫描范围分配扫描分区;可在测试过程中自动完成拼接;并自动保存拼接完成的图像数据和各分区数据;也可测试完成之后用软件自动拼接。5.6 五位物镜转轮 5.7 共焦物镜一个;倍率20X5.8 提供1um台阶高度标准样品一个5.9 不做划痕测试的时候;三维光学系统可独立启动;可用于任何材料或微纳结构的表面三维形貌测量6;样品夹具：可夹持板样品尺寸：0-35mm。无中心孔7;软件及控制系统7.1 最高16通道数据采集;最高达200kHz 数据采集频率7.2 品牌电脑;i7处理器;64位win10专业操作系统;16GB运行内存;24寸LCD显示器7.3实时记录正向力随划痕距离的变化7.4具有往复划痕扫描模式7.5具有全自动多路径划痕测试模式7.6具有恒力划痕模式与渐变力划痕模式7.7可记录临界载荷与对应点的位置;同时显示划痕深