半导体材料研发真空互联系统
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
非标定制 -
当前状态
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管理员
李伟轩 13816556208 -
放置地点
校本部创园6栋六层610
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
半导体材料研发真空互联系统
资产编号
S2111476
型号
非标定制
规格
定制
产地
中国
厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
所属品牌
出产日期
购买日期
2021-09-28
所属单位
前沿与交叉科学研究院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
李伟轩
联系电话
13816556208
联系邮箱
放置地点
校本部创园6栋六层610
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
真空度-10Torr，漏率-11TorrL/S,7段工艺段，两段过渡段，2部小车，150mm直径通道，光电定位，等离子体清洁，低温烘烤
主要功能及特色
连接各个薄膜设备，真空传递各种样品
样本检测注意事项
样品小车尺寸2寸
设备使用相关说明
配套使用，不能收费
备注
配套其他薄膜制备系统，不具备单独使用功能
预约资源
附件下载
公告
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