等离子体清洗机
-
7/人使用者
-
136/次机时次数
-
6058/小时总时长
-
0/次送样次数
-
6/人收藏者
-
收费标准
机时100元/小时 -
设备型号
CUTE -
当前状态
-
管理员
黄志雄 13800138000 -
放置地点
校本部工学院北楼七层744
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
等离子体清洗机
资产编号
S2006877
型号
CUTE
规格
产地
厂家
Femto Science
所属品牌
Femto Science
出产日期
购买日期
2020-04-03
所属单位
环境公共科研平台
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
郑焰
联系电话
13800138000
联系邮箱
放置地点
校本部工学院北楼七层744
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
目 参数
舱体材质 铝合金
舱体内部尺寸 140mm x 200mm x 110mm
电源频率 20~100kHz
电源功率 最大100W 可自由调节
标准气体输入 1 x 气路
额外气体输入 2 x 空管道可供升级
气体流速控制 MFC自动控制
最大流速 100sccm
气体流速控制精度 满量程的1%
真空泵抽气速率 80L/min
最小真空 1 x 10-3 Torr
真空测量范围 大气压 ~ 5 x 10-5 Torr
显示 彩色触摸屏，图形化控制界面
操作员分级 2级操作人员分级
程序 可进行半自动控制和全自动编程控制
参数存储 最大10组工艺参数储存，每组工艺包含最多10个工艺步骤
舱体材质 铝合金
舱体内部尺寸 140mm x 200mm x 110mm
电源频率 20~100kHz
电源功率 最大100W 可自由调节
标准气体输入 1 x 气路
额外气体输入 2 x 空管道可供升级
气体流速控制 MFC自动控制
最大流速 100sccm
气体流速控制精度 满量程的1%
真空泵抽气速率 80L/min
最小真空 1 x 10-3 Torr
真空测量范围 大气压 ~ 5 x 10-5 Torr
显示 彩色触摸屏，图形化控制界面
操作员分级 2级操作人员分级
程序 可进行半自动控制和全自动编程控制
参数存储 最大10组工艺参数储存，每组工艺包含最多10个工艺步骤
主要功能及特色
CUTE系列等离子清洗机来自韩国Femto Science公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的精确控制。
CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。
CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
