X射线光电子能谱仪（XPS）
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收费标准
机时600元/小时 -
设备型号
PHI 5000 Versaprobe Ⅲ -
当前状态
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管理员
叶思思 18507131706 -
放置地点
校本部工学院北楼六层646-XPS室
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
X射线光电子能谱仪（XPS）
资产编号
18030090S
型号
PHI 5000 Versaprobe Ⅲ
规格
PHI 5000 Versaprobe Ⅲ
产地
日本
厂家
ULVAC-PHI
所属品牌
ULVAC-PHI
出产日期
购买日期
2018-12-01
所属单位
环境公共科研平台
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
叶思思
联系电话
18507131706
联系邮箱
yess@mail.sustech.edu.cn
放置地点
校本部工学院北楼六层646-XPS室
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1、X射线源：单色化Al Kα射线源，X射线束斑直径10μm至400μm连续可调，可实现样品表面聚焦及扫描（10μm~1400μm×1400μm）。
2、Ar离子枪：刻蚀区域从最小束斑到10x10mm连续可调，离子能量为0-5keV连续可调。
3、GCIB离子枪：Ar2500团簇离子枪的电压、束流、束斑等多参数可调。
4、紫外光源UPS：He I 灵敏度 Ag 4d @ 3 Mcps，能量分辨率优于110 meV，可获得功函数、费米能级、价带谱等信息。
5、双束中和系统：独立调节电子束和离子束，高质量获谱（PET中O=C-O中C1s FWHM ≤ 0.85eV）。
6、全自动五轴样品台：可实现X、Y、Z 方向的移动，常中心旋转0~360°，倾斜0°~90°，角度分辨≤±1º；冷热样品台可实现-140℃~800℃原位测试。
2、Ar离子枪：刻蚀区域从最小束斑到10x10mm连续可调，离子能量为0-5keV连续可调。
3、GCIB离子枪：Ar2500团簇离子枪的电压、束流、束斑等多参数可调。
4、紫外光源UPS：He I 灵敏度 Ag 4d @ 3 Mcps，能量分辨率优于110 meV，可获得功函数、费米能级、价带谱等信息。
5、双束中和系统：独立调节电子束和离子束，高质量获谱（PET中O=C-O中C1s FWHM ≤ 0.85eV）。
6、全自动五轴样品台：可实现X、Y、Z 方向的移动，常中心旋转0~360°，倾斜0°~90°，角度分辨≤±1º；冷热样品台可实现-140℃~800℃原位测试。
主要功能及特色
1、样品表面的元素成分（Li-U）分析、元素化学状态（价态，化学键合等）信息、定量分析、深度分析、角分辨XPS、高低温原位测试等。
2、Ar离子枪可实现样品中和、清洁和深度分析功能。
3、GCIB离子枪适用于有机材料的表面清洁和多层膜层结构深度剖析，刻蚀时对材料化学态破坏小。
4、紫外光源UPS主要应用价带谱，费米能级，功函数测试。
5、彩色CCD摄像机成像和X射线二次电子成像（SXI）可用于样品观察及分析选点定位，可实现样品表面精准定位以及点分析、线扫描、面分析。
6、配备真空转移装置，可保护样品表面在分析前不受环境，空气和氧气的影响。
2、Ar离子枪可实现样品中和、清洁和深度分析功能。
3、GCIB离子枪适用于有机材料的表面清洁和多层膜层结构深度剖析，刻蚀时对材料化学态破坏小。
4、紫外光源UPS主要应用价带谱，费米能级，功函数测试。
5、彩色CCD摄像机成像和X射线二次电子成像（SXI）可用于样品观察及分析选点定位，可实现样品表面精准定位以及点分析、线扫描、面分析。
6、配备真空转移装置，可保护样品表面在分析前不受环境，空气和氧气的影响。
样本检测注意事项
1、不能被测试的样品种类：放射性的样品，具有磁性的样品，真空中会释放大量气体（尤其释放的气体对不锈钢具有腐蚀性）的样品，在X光照射下会分解的样品。
2、可测试样品的要求：导体、半导体和绝缘体均可以。粉末样品越细越好，用量约5mg，也可自行压片；片状、块体样品厚度应小于7mm，长宽尺度均在10mm以内，特殊样品最大斜边在50mm以内，保护好待测面。
3、UPS测试样品电阻应小于100Ω，最好小于10Ω，可测片状或块状，粉末样品应压片，长宽控制在7-10mm，高度不超过7mm。
4、原位高低温测试样品为片状或块状，粉末样品应压片，长宽控制在7-10mm，高度不超过2mm，加热分解或释放大量气体的样品不能进行高温测试。
5、如为挥发性高分子样品或具挥发性覆膜，务必先自行在真空高温炉中抽除挥发性分子，送样前需对样品进行一段时间的干燥处理。
6、易受空气、氧气影响的样品，建议使用真空转移装置，需提前与工程师预约联系。
7、XPS为预约排样测试，送样时请写明送样人、样品编号和测试需求等信息，收到样品后会在5个工作日（特殊情况除外）给出数据结果。
若需现场测试或其他特殊要求，请提前3个工作日与工程师进行沟通确认，感谢您的配合。
2、可测试样品的要求：导体、半导体和绝缘体均可以。粉末样品越细越好，用量约5mg，也可自行压片；片状、块体样品厚度应小于7mm，长宽尺度均在10mm以内，特殊样品最大斜边在50mm以内，保护好待测面。
3、UPS测试样品电阻应小于100Ω，最好小于10Ω，可测片状或块状，粉末样品应压片，长宽控制在7-10mm，高度不超过7mm。
4、原位高低温测试样品为片状或块状，粉末样品应压片，长宽控制在7-10mm，高度不超过2mm，加热分解或释放大量气体的样品不能进行高温测试。
5、如为挥发性高分子样品或具挥发性覆膜，务必先自行在真空高温炉中抽除挥发性分子，送样前需对样品进行一段时间的干燥处理。
6、易受空气、氧气影响的样品，建议使用真空转移装置，需提前与工程师预约联系。
7、XPS为预约排样测试，送样时请写明送样人、样品编号和测试需求等信息，收到样品后会在5个工作日（特殊情况除外）给出数据结果。
若需现场测试或其他特殊要求，请提前3个工作日与工程师进行沟通确认，感谢您的配合。
设备使用相关说明
XPS为预约排样测试，按不同测试项目执行有差别的计费方式，若需现场测试或其他特殊要求，请提前3个工作日与工程师进行沟通确认，感谢您的配合。
预约资源
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